非接觸式吸盤-CKD精密吸盤 PVP Series

2023/11/24 CKD氣動元件產品中心真空系統元件 1403 0

精密吸盤 PVP Series

不損傷工件、 超潔凈＆高精密吸附?

吸附面采用氟樹脂燒結多孔材質的精密吸盤PVP系列。

即使是極薄材料及柔軟材質，也不會損傷工件，并能消除因吸附導致的歪斜及變形。

可完成各種高精度工件處理。

用途示例

光盤、磁盤的搬送?粘貼等

液晶玻璃、薄膜基板的粘貼、搬送等

晶圓旋轉、拋光、搬送等

除上述吸附用途外，還接單生產上浮用途產品

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規格
項目			PVP-R-86-18 PVP-C-50 PVP-S-50-50	PVP-R-85-27 PVP-R-118-18 PVP-C-75 PVP-C-100 PVP-C-113 PVP-C-138 PVP-S-100-100	PVP-C-187 PVP-S-150-150 PVP-S-200-850
產品	吸附面 μm(注)	平面度	2	3	4
	吸附面 μm(注)	平行度	5	10	15
	基準面平面度 μm		10	10	10
	空氣泄漏量 2/min(ANR)		0.4	0.6	1
	真空差壓 kPa(注2)		40以上
	使用加壓力 MPa		0.2以下(清潔空氣)
	環境溫度 ℃		5～40
	環境濕度 %RH(注3)		65以下
多孔材質部位	材質		三氟聚氯乙烯樹脂
	氣孔率 %		40±5
	肖氏D硬度度		60±15
底板部位	材質		耐腐蝕鋁合金
底板部位	表面處理 (注4)		無
注1:該精度是在23℃恒溫室中放置24小時后的測量值。在非23℃的環境中精度將發生變化，可能偏離規格值。測量方法規定，在無負載狀態下將產品置于平臺上測量其直線度(2個方向以上),取其最大值。雖然不是原本的平面度測量方法，但因為多孔材質表面存在凹痕，所以采用了該測量方法。
注2:表示通過整個多孔材質面真空吸附工件時的真空源壓力下降值。注3:在超過65%RH的濕度環境中，可能導致吸附面精度變化，偏離規格值。注4:本產品的本體材質為耐腐蝕鋁合金未淬火材質。需要指定表面處理(鈍化處理、無電解鍍鎳等)時，接單生產處理對應。


吸附面積·重量表
型號	吸附面積(cm2)	重量(g)
PVP-R-36-18	8	80
PVP-R-85-27	51	290
PVP-R-118-18	107	520
PVP-C-50	20	140
PVP-C-75	44	250
PVP-C-100	79	390
PVP-C-113	100	490
PVP-C-138	149	680
PVP-C-187	275	1,170
PVP-S-50-50	25	160
PVP-S-100-100	100	490
PVP-S-150-150	225	980
PVP-S-200-250	500	2,030

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